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HYPER QV WLI配備白光干涉儀的復合型高精度3D測量系統(tǒng)

可根據(jù)WLI光學系統(tǒng)獲取的3D數(shù)據(jù)進行表面形狀分析/三維粗糙度分析。還可根據(jù)3D數(shù)據(jù)進行指定高度的尺寸測量和截面形狀測量