X軸測(cè)量范圍:100mm
Z1軸測(cè)量范圍:50mm
本體尺寸:651x143x138.5mm
Z2軸移動(dòng)范圍:300-700mm
Z1軸測(cè)量范圍:60(水平±30)mm
直線度:0.8μm / 100mm-2μm / 100mm